Gr1 Gr2 Gr5 TiAl Alloy Titanium Sputtering Target Untuk Lapisan PVD

Gr1 Gr2 Gr5 TiAl titanium alloy Titanium Sputtering Target Untuk lapisan PVD

Aku tidak tahu.

1. Materi target

Bahan target adalah bahan target yang dibombardir oleh partikel bermuatan kecepatan tinggi. Ada logam, paduan, oksida, dll.baja tahan karat, titanium, nikel target, dll), Anda bisa mendapatkan sistem film yang berbeda (seperti film super-hard, tahan haus, anti korosi paduan, dll).

(1) Target logam: target nikel, Ni, target titanium, Ti, target seng, Zn, target kromium, Cr, target magnesium, Mg, target niobium, Nb, target timah, Sn, target aluminium, Al, target indium, In,sasaran besi, Fe, zirconium aluminium target, ZrAl, titanium aluminium target, TiAl, zirconium target, Zr, aluminium target silikon, AlSi, silikon target, Si, tembaga target Cu, tantalum target T, a,target germanium, Ge, target perak, Ag, target kobalt, Co, target emas, Au, target gadolinium, Gd, target lanthanum, La, target yttrium, Y, target cerium, Ce, target tungsten, w, target stainless steel,target nikel-kromium, NiCr, hafnium Target, Hf, target molibdenum, Mo, target besi-nikel, FeNi, target wolfram, W, dll.

(2) Target keramik: target ITO, target magnesium oksida, target besi oksida, target silikon nitrida, target silikon karbida, target titanium nitrida, target kromium oksida, target seng oksida,target seng sulfida, target silikon dioksida, satu target silikon oksida, target cerium oksida, target zirconium dioksida, target niobium pentoksida, target titanium dioksida, target zirconium dioksida, target hafnium dioksida,Titanium diboride target, target zirconium diboride, target tungsten trioxide, target aluminium oksida, tantalum oksida, target niobium pentoxide, target magnesium fluoride, target yttrium fluoride, target seng selenide,target aluminium nitrida, target silikon nitrida, target boron nitrida, target titanium nitrida, target silikon karbida, target lithium niobate, target praseodymium titanate, target barium titanate,Lantanum titanate target, target nikel oksida, target penyemprotan, dll.

2Persyaratan kinerja utama dari target

(1) Kebersihan

Kejernihan adalah salah satu indikator kinerja utama dari target, karena kemurnian target memiliki pengaruh besar pada kinerja film.persyaratan kemurnian bahan target juga berbedaSebagai contoh, dengan perkembangan pesat industri mikroelektronika, ukuran wafer silikon telah tumbuh dari 6 ", 8 "ke 12", dan lebar kabel telah berkurang dari 0.5um ke 0.25um, 0.18um atau bahkan 0.13um, kemurnian target sebelumnya 99,995% Dapat memenuhi persyaratan teknis 0,35umIC, dan persiapan garis 0,18um membutuhkan 99,999% atau bahkan 99,9999% untuk kemurnian target.

(2) Kandungan kotoran

Kotoran dalam padatan target dan oksigen dan uap air di pori-pori adalah sumber utama polusi untuk film yang terdeposit.Target yang berbeda memiliki persyaratan yang berbeda untuk kandungan kotoran yang berbedaMisalnya, target aluminium murni dan paduan aluminium yang digunakan dalam industri semikonduktor memiliki persyaratan khusus untuk kandungan logam alkali dan kandungan unsur radioaktif.

(3) Kepadatan

Untuk mengurangi pori-pori dalam zat padat target dan meningkatkan kinerja film yang disemprotkan, target biasanya diperlukan untuk memiliki kepadatan yang lebih tinggi.Ketumpatan target tidak hanya mempengaruhi tingkat sputtering, tetapi juga mempengaruhi sifat listrik dan optik film. semakin tinggi kepadatan target, semakin baik kinerja film.Meningkatkan kepadatan dan kekuatan target memungkinkan target untuk lebih tahan terhadap tekanan termal selama penyemprotanDensitas juga merupakan salah satu indikator kinerja utama dari target.

(4) Ukuran butir dan distribusi ukuran butir

Bahan target biasanya polikristalin, dan ukuran butiran dapat dalam urutan mikron ke milimeter.kecepatan penyemprotan target dengan butiran halus lebih cepat daripada target dengan butiran kasar; ketebalan film yang terdeposisi dengan menyemprotkan target dengan perbedaan kecil dalam ukuran butir (distribusi seragam) lebih seragam.

3Bahan

(1)Titanium murni: GR1 GR2

(2) Paduan titanium: Titanium Gr5, titanium aluminium TiAl, titanium nikel TiNi, titanium kromium TiCr, titanium zirconium TiZr, titanium tembaga TiCu dll.

(3)Bahan lainnya: Zirconium sputtering target, chrome sputtering target, tungsten sputtering target, tembaga sputtering target dll.

4Tujuan.

Hal ini banyak digunakan dalam lapisan dekoratif, lapisan tahan aus, CD dan VCD dalam industri elektronik, serta berbagai lapisan disk magnetik.

Film tungsten-titanium (W-Ti) dan film paduan berbasis tungsten-titanium (W-Ti) adalah film paduan suhu tinggi dengan serangkaian sifat yang sangat baik yang tak tergantikan.Tungsten memiliki sifat seperti titik leleh yang tinggi, kekuatan tinggi dan koefisien ekspansi termal yang rendah.Seperti berbagai perangkat membutuhkan kabel logam yang memainkan peran konduktif, seperti Al, Cu, dan Ag telah banyak digunakan dan diteliti. Namun, logam kabel itu sendiri mudah teroksidasi, bereaksi dengan lingkungan sekitarnya,dan memiliki adhesi yang buruk pada lapisan dielektrikHal ini mudah untuk menyebar ke bahan substrat perangkat seperti Si dan SiO2, dan akan membentuk logam dan Si pada suhu yang lebih rendah.sangat menurunkan kinerja perangkatPaduan W-Ti mudah digunakan sebagai penghalang difusi kabel karena sifat termomekanis yang stabil, mobilitas elektron yang rendah, ketahanan korosi yang tinggi dan stabilitas kimia,terutama cocok untuk digunakan di lingkungan arus tinggi dan suhu tinggi .

Gambar rinci

Pabrik

Paket & Pengiriman:

Membungkus bahan target ti dengan kapas mutiara dan meletakkannya dalam kotak kayu. metode kemasan yang wajar kami dapat menghindari bahan target dari bertabrakan satu sama lain selama transportasi,dan juga dapat mencegah dampak barang eksternal pada produk, dan memastikan bahwa produk yang dikirimkan setelah pengiriman Integrity.

---1.Kemasan yang disegel, lalu dimasukkan ke dalam kotak karton atau kotak kayu lapis standar.

---2.Menggunakan karton khusus eksklusif dengan logo pelanggan, setiap kemasan individu, untuk membantu pembeli langsung penjualan.

--- Menerima kebutuhan pelanggan

Pastikan setiap paket dibuat sesuai dengan kebutuhan Anda.Pastikan ketika Anda mendapatkan barang tidak rusak.